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什么是掃描電鏡?掃描電鏡的工作原理、功能、應用案例

更新時間:2025-09-25點擊次數:1241
  掃描電鏡(ScanningElectronMicroscope,SEM)是一種高分辨率的電子顯微鏡,廣泛應用于材料科學、生物學、地質學等多個領域。其工作原理基于電子與物質間的相互作用,通過發射電子束并使其在樣品表面掃描,從而激發樣品產生各種物理信號,這些信號再被收集、放大并轉換成圖像。
 
掃描電鏡
掃描電鏡
 
  在工作時,掃描電鏡的電子槍發射出電子束,這些電子在加速電壓的作用下,經過電磁透鏡聚焦成細小的束斑。隨后,電子束在掃描線圈的作用下,按一定規律在樣品表面進行掃描。當電子束照射到樣品表面時,會與樣品中的原子發生相互作用,激發出二次電子、背散射電子等信號。這些信號被相應的探測器接收,并經過放大處理后,最終轉換成圖像顯示在屏幕上。
 
  功能
 
  1)臺式電鏡緊湊的外型,能夠不受場地尺寸制約,真正做到了空間適用性,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據用戶需求,輕松移機,一臺機器多處開花;
 
  2)高分辨率,能夠對微尺寸特征進行觀測分析,滿足用戶的觀測需求;
 
  3)快速抽放氣,憑借真空系統設計,該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間;
 
  4)高易用性,能夠快速成像、一鍵出片,用戶使用自動調節功能,無需過多人工操作,就可得到高質量拍攝圖片;
 
  5)大樣品倉,CEM3000A在保證較小外型尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;
 
  6)高抗振防磁性能,全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B使用本公司技術,基于復合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度;
 
  7)可選配低真空模式,保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度,進而對不同類型的樣品進行觀測;
 
  8)能夠提供多種成像參數供用戶選擇,滿足專業用戶的調節需求;
 
  9)搭配有多種探頭,能夠對樣品進行多種手段的分析。
 
  結構組成方面,掃描電鏡主要由電子光學系統、掃描系統、信號收集系統、圖像顯示和記錄系統、真空系統以及電源系統六大部分組成。其中,電子光學系統負責產生和聚焦電子束;掃描系統控制電子束在樣品表面的掃描;信號收集系統接收并放大樣品激發出的信號;圖像顯示和記錄系統將放大后的信號轉換成圖像并記錄下來;真空系統確保鏡筒和樣品室中的高真空環境,以避免電子束與氣體分子發生碰撞;電源系統為整個儀器提供所需的電力。
 
  應用案例
 
  金屬材料分析
 
形貌分析掃描電鏡
花粉微觀形態
 
形貌分析掃描電鏡
  綜上所述,掃描電鏡憑借其的工作原理和精細的結構組成,在微觀世界的探索中發揮著不可替代的作用。

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