在半導(dǎo)體設(shè)備這一精度決定成敗的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，同心度等關(guān)鍵幾何參數(shù)的精準(zhǔn)控制是保障設(shè)備可靠運(yùn)行、提升國(guó)產(chǎn)競(jìng)爭(zhēng)力的核心要素。設(shè)備中的微小瑕疵足以引發(fā)災(zāi)難性后果。以軸套為例，兩側(cè)圓柱用于裝配軸承，如果不同心，會(huì)造成軸在旋轉(zhuǎn)的時(shí)候別著勁，輕則只是噪音加大，嚴(yán)重時(shí)候軸承短時(shí)間就會(huì)損壞，導(dǎo)致價(jià)值不菲的整機(jī)停擺。

Mars Classic 8106高性能三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)，憑借其微米級(jí)的測(cè)量精度、高效的自動(dòng)化流程、強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析能力，解決了傳統(tǒng)檢測(cè)方法的痛點(diǎn)，不僅為半導(dǎo)體設(shè)備制造商筑起了堅(jiān)實(shí)的質(zhì)量防線，更通過釋放效率、賦能優(yōu)化，成為驅(qū)動(dòng)生產(chǎn)效能提升和贏得市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的關(guān)鍵引擎。將高精度三坐標(biāo)融入核心制程，是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍與高質(zhì)量發(fā)展的必然選擇。每一次精準(zhǔn)的測(cè)量，都在為“中國(guó)芯"裝備的可靠未來注入確定性。

傳統(tǒng)檢測(cè)低效、模糊、不可靠

1、游標(biāo)卡尺手工測(cè)量：反復(fù)測(cè)量?jī)蓚?cè)內(nèi)孔不同方向上的尺寸，通過計(jì)算差值間接推測(cè)偏差。過程繁瑣，主觀性強(qiáng)，且無法獲取真實(shí)的軸線空間關(guān)系。

2、千分表打表驗(yàn)證：需將軸承裝入軸套，置于磨床等設(shè)備上打表觀察跳動(dòng)。此方法效率極低，依賴操作者經(jīng)驗(yàn)，難以獲得精確的數(shù)字化同心度值，且結(jié)果受安裝、設(shè)備狀態(tài)等多因素干擾。

這種“手眼協(xié)同"的方式普遍存在效率低下、誤差累積大、更無法提供精確的數(shù)字化結(jié)果。當(dāng)質(zhì)量工程師面對(duì)模糊的檢測(cè)數(shù)據(jù)時(shí)，生產(chǎn)線上潛藏的風(fēng)險(xiǎn)正在悄然累積。

高精度三坐標(biāo)：精準(zhǔn)、高效的解決方案

針對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備核心部件嚴(yán)苛的同心度檢測(cè)需求，Mars Classic 8106 高性能橋式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)結(jié)合ACH100T高精度測(cè)座及Power DMIS專業(yè)測(cè)量軟件，提供解決方案：

1、微米級(jí)精度保障：系統(tǒng)采用先進(jìn)的光柵尺、精密機(jī)械結(jié)構(gòu)與高剛性材料，結(jié)合ACH100T測(cè)座的重復(fù)定位精度，確保測(cè)量結(jié)果真實(shí)反映工件微米級(jí)的形位公差，為同心度判定提供堅(jiān)實(shí)的數(shù)據(jù)基礎(chǔ)。

2、智能編程，一鍵測(cè)量：

（1）CAD數(shù)模驅(qū)動(dòng)：將軸套的精確三維CAD模型直接導(dǎo)入Power DMIS軟件，作為測(cè)量的基準(zhǔn)和路徑規(guī)劃依據(jù)。

（2）自動(dòng)化程序編制：軟件根據(jù)模型特征和測(cè)量要求（如兩側(cè)內(nèi)孔），快速生成高效、無碰撞的自動(dòng)測(cè)量路徑。操作人員無需復(fù)雜編程。

（3）精準(zhǔn)觸發(fā)采集：使用點(diǎn)測(cè)頭配合直測(cè)針，精確觸發(fā)采集兩側(cè)內(nèi)孔圓柱面上的多個(gè)點(diǎn)（通常需滿足空間分布要求）。

3、科學(xué)計(jì)算，直觀呈現(xiàn)：軟件內(nèi)置強(qiáng)大的幾何算法引擎，基于采集的點(diǎn)云數(shù)據(jù)，瞬間擬合出兩側(cè)內(nèi)孔的理想圓柱軸線，并精確計(jì)算出兩軸線間的空間同心度誤差值（通常以最大距離或直徑差表示），同時(shí)也可精確給出孔徑尺寸。結(jié)果以數(shù)字、圖表（如偏差色譜圖）形式清晰呈現(xiàn)。

從產(chǎn)線到市場(chǎng)：三坐標(biāo)驅(qū)動(dòng)的價(jià)值躍升

1、該配置的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)滿足測(cè)量需求

（1）高精度：三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)采用先進(jìn)的測(cè)量技術(shù)，能夠精確地測(cè)量工件的尺寸、形狀和位置，能夠?qū)崿F(xiàn)微米級(jí)的高精度測(cè)量，滿足客戶對(duì)產(chǎn)品的檢測(cè)需求。

（2）高效率：自動(dòng)測(cè)量程序可以快速完成所有測(cè)量任務(wù)，大大提高檢測(cè)效率。

（3）全面性：三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)可以測(cè)量各種復(fù)雜幾何特征，滿足客戶對(duì)產(chǎn)品的檢測(cè)需求。

2、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)給客戶帶來的價(jià)值和優(yōu)勢(shì)

（1）提升產(chǎn)品質(zhì)量：通過高精度、高效率的檢測(cè)，有效控制產(chǎn)品質(zhì)量，降低不良率。

（2）提高生產(chǎn)效率：實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測(cè)量，節(jié)省時(shí)間和人力成本。同時(shí)還能夠快速生成測(cè)量報(bào)告和數(shù)據(jù)分析，幫助企業(yè)及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)流程，提高生產(chǎn)效率。

（3）改善客戶滿意度：確保產(chǎn)品的精度和質(zhì)量，提供可靠的數(shù)據(jù)支持。

半導(dǎo)體精密制造的高地上，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)已從單純的檢測(cè)工具，進(jìn)化為驅(qū)動(dòng)質(zhì)量與效率雙提升的核心引擎。無論是簡(jiǎn)單軸套還是復(fù)雜異形件，三坐標(biāo)強(qiáng)大的空間解析能力均可應(yīng)對(duì)，全面覆蓋半導(dǎo)體設(shè)備各類核心部件的檢測(cè)需求。