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SuperViewW高分辨率3d白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中，納米材料表征共聚焦顯微鏡用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。它基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像。

SuperViewW1白光干涉技術(shù)3D測(cè)量輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能.

中圖儀器VT6000共聚焦光學(xué)測(cè)量顯微鏡?是基于光學(xué)共軛共焦原理，以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

中圖儀器SuperViewW白光干涉儀摩擦磨損形貌檢測(cè)儀非接觸式掃描測(cè)量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器NS系列國(guó)產(chǎn)探針接觸式臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器，用于測(cè)量臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)。采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率。