一、產品介紹

SJ6000國產激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

二、國產激光干涉儀線性測量

線性測量原理 —— 邁克爾遜干涉原理

線性測量的光路原理構建圖

1、從SJ6000激光干涉儀主機出射的激光束（圓偏振光）通過分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）；

2、兩束激光分別經由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過分光鏡后進行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件；

3、角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離，將會產生一次完整的明暗干涉現象。測量距離等于干涉條紋數乘以激光半波長。

三、線性測量配置及使用方法

線性測量（線性軸位置精度測量的簡稱）配置主要由SJ6000主機、EC20環境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態測量軟件等組件構成，可滿足0~80m范圍內的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。

SJ6000靜態測量軟件可以將線性測量結果生成的誤差補償表，該表涵蓋了各個測量點的補償值，運動控制系統制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。

線性測量中目標位置的數據采集有基于位置的目標采集和基于時間的目標采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標采集方式，即：被測運動軸需設定若干個等距的定位點，當運動軸移動到設定的定位點時，需設置停留時間，以供SJ6000測量軟件進行當前點的數據采集。

四、線性測量應用

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。

五、線性測量附件

輕型線性鏡組 —— 特殊場合的應用

輕型線性鏡組的光路原理構建圖

輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡的重量為8g，可以直接吸附在被測物體上，降低線性反射鏡的重量影響。

六、主要應用場合

1、線性反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機械性能或精度；

2、線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場合；