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SEM掃描電鏡

產品簡介

中圖儀器SEM掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統,能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實現微觀的形貌和元素分析等。

產品型號:CEM3000
更新時間:2025-04-09
廠商性質:生產廠家
訪問量:941
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中圖儀器SEM掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統,能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實現微觀的形貌和元素分析等。

SEM掃描電鏡


核心優勢

1、緊湊靈活,突破空間限制

(1)臺式設計,體積小巧,輕松擺放在桌面或狹小空間(如手套箱、移動實驗室),節省實驗室空間。

(2)支持快速移機,一臺設備滿足多場景需求,助力科研效率提升。

2、高性能,納米級分辨率

(1)空間分辨率優于4nm(SE),支持高達200,000倍放大,精準捕捉納米材料、微流控芯片等樣品的微觀形貌。

(2)高襯度成像系統,快速掃描也能清晰呈現微弱信號,滿足材料科學、生命科學等領域的需求。

3、抗振防磁,穩定無懼挑戰

(1)特殊隔振設計(CEM3000B搭載復合抗振系統),消除環境振動與電磁干擾,保障高倍成像質量。

(2)適用于工業車間、車載實驗室等復雜環境,穩定可靠。

4、高效便捷,一鍵智能操作

(1)快速抽放氣技術:低真空模式僅需40秒(CEM3000B),高真空模式最快1.5分鐘,大幅縮短等待時間。

(2)自動對焦、消像散、圖像增強功能,一鍵生成高質量圖片,降低操作門檻。

5、靈活拓展,滿足多樣需求

(1)可選配低真空系統(5~100Pa),兼容導電/非導電樣品觀測。

(2)CEM3000系列桌面式掃描電子顯微鏡支持二次電子、背散射電子探頭及能譜儀,搭配顆粒統計、孔隙率測量等定制功能,滿足多領域分析需求。


中圖儀器SEM掃描電鏡憑借其簡便的操作系統,讓復雜的掃描電鏡使用過程變得簡單快捷。樣品一鍵裝入,自動導航和一鍵出圖能力(自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度)幫助用戶在短短幾十秒內就可獲取高清圖像,大大提升了使用效率。


產品型號

CEM3000系列共涵蓋CEM3000A(大樣品倉型)和CEM3000B(抗振型)兩款強化機型,CEM3000A在不改變整機外觀尺寸的情況下,拓展了樣品倉尺寸,從而可對大尺寸樣品或多個常規尺寸樣品進行分析。同時,用戶也可選擇加裝有減振倉的CEM3000B,確保在縮短抽放氣時間的同時,消除環境振動對電鏡的影響,保證了高倍數成像時的圖像質量。

SEM掃描電鏡

產品功能

1.高分辨率,滿足用戶觀測需求;

2.快速抽放氣,縮短等待時間;

3.高易用性

可快速成像,一鍵成片;

4.多種成像參數

滿足專業用戶的調節需求;

5.高抗振防磁性能

強抗干擾能力;

6.可選配低真空模式,保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度,進而對不同類型的樣品進行觀測。

7.大樣品倉

SEM3000A在保證較小外形尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;

8.多探測器

可實現四分窗同時掃描成像。


應用場景

材料科學:納米材料(如60nm銀線)、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結構分析。

新能源:太陽能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。

生物醫療:微流控芯片表面形貌觀測、藥物載體研究。

工業質檢:錫球顆粒焊接質量、精密器件表面粗糙度檢測。

SEM掃描電鏡


部分技術指標

型號

CEM3000A(大樣品倉型)

電子槍

燈絲

鎢燈絲

分辨率

優于4nm(SE),優于8nm(BSE)  @20kV

加速電壓

1 ~ 20kV

放大倍數

電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接)

探測器

二次電子

標配

背散射電子

標配(四象限高分辨探頭)

能譜儀

選配

自動化軟件

標配:自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強

選配:顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建

真空系統

真空度

高真空:優于9×10-3Pa

低真空:5 ~ 100 Pa(選配)

抽真空時間

低真空模式 < 1.5min

高真空模式 < 3min

樣品臺

自動軸

XYT

手動軸

RZ

行程范圍

X: 50mm

Y: 50mm

R: 0°~360°(手動旋轉、電子束旋轉)

T: -22.5°~ +22.5°

Z: 45mm


最大樣品尺寸

70mm×70mm(水平)

45mm(高度)

倉內相機

導航相機

標配高分辨彩色相機

側視相機

標配高分辨紅外相機

操作系統

圖片尺寸

Windows10 (64bit)

640×480

1280×960

2560×1920

5120×3840

10240×7680

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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