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中圖儀器國(guó)產(chǎn)3d共聚焦顯微鏡賦能B端企業(yè)降本增效，在半導(dǎo)體、3C電子、汽車零部件、微納材料等工業(yè)領(lǐng)域，測(cè)量材料表面的粗糙度、微觀形貌、幾何輪廓等參數(shù)。憑借自主研發(fā)突破、精準(zhǔn)適配工業(yè)需求、高性價(jià)比與本土化服務(wù)優(yōu)勢(shì)，助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)“精準(zhǔn)測(cè)量+成本可控+高效運(yùn)維”的三重價(jià)值。

VT6000系列3D輪廓尺寸共聚焦顯微鏡主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量，具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能；以及2)二維平面輪廓尺寸的影像測(cè)量功能，可進(jìn)行長(zhǎng)度、角度、半徑等尺寸測(cè)量。

VT6000輪廓尺寸檢測(cè)共聚焦顯微鏡用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000白光共焦顯微鏡用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器微觀3D形貌共聚焦顯微鏡主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測(cè)中，其次是對(duì)表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測(cè)中。

VT6000微納米形貌測(cè)量共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。