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激光干涉儀原理特點(diǎn)
2023-01-16 一、激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。二、激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。三、位置精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量...
激光干涉儀快速檢測(cè)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)垂直度
2022-12-28 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量精度高、效率高，廣泛應(yīng)用在精密加工檢測(cè)領(lǐng)域。它與數(shù)控機(jī)床是保證工件測(cè)量與加工精度的關(guān)鍵設(shè)備。其中作為高精度的測(cè)量基準(zhǔn)，幾何誤差的快速、高精度檢測(cè)技術(shù)都是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)性能提升的關(guān)鍵。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)運(yùn)行速度的加快，動(dòng)態(tài)誤差往往會(huì)比靜態(tài)/準(zhǔn)靜態(tài)誤差對(duì)測(cè)量精度影響更大。特別在高速測(cè)量過(guò)程中，產(chǎn)生的自激振動(dòng)和受迫振動(dòng)，都會(huì)產(chǎn)生動(dòng)態(tài)誤差。激光干涉儀是常用的機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)幾何誤差檢測(cè)的手段。其中垂直度測(cè)量是通過(guò)比較正交軸的直線度值從而確定正交軸的非直角度。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的垂...
白光干涉儀3D形貌測(cè)量之美
2022-12-28 白光干涉儀能測(cè)什么？有著“納米眼”之稱的白光干涉儀，是一款在縱向分辨率上可實(shí)現(xiàn)0.1nm的分辨率和測(cè)量可靠性的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。下面就讓我們一起來(lái)領(lǐng)略下國(guó)產(chǎn)白光干涉儀鏡頭下的3D顯微之美。SuperViewW1白光干涉儀白光干涉儀采用的光學(xué)輪廓測(cè)量法可以非接觸式測(cè)量非平坦樣品，輕松測(cè)量出彎曲和其他非平面表面，還可以測(cè)出曲面的表面光潔度、紋理和粗糙度等，同時(shí)不會(huì)像探針是輪廓儀那樣損壞薄膜。白光干涉儀3D形貌圖片：圖1.超光滑_納米級(jí)表面圖2.分成了32階的納米級(jí)微納光學(xué)元件圖3.半...
激光跟蹤儀的使用可少不了以下要領(lǐng)
2022-12-26 激光跟蹤儀是一種空間大尺寸三維坐標(biāo)精密測(cè)量的先進(jìn)幾何量?jī)x器，不僅可以對(duì)靜止的空間目標(biāo)進(jìn)行高精度三維測(cè)量，還可以對(duì)運(yùn)動(dòng)的目標(biāo)進(jìn)行跟蹤測(cè)量，是大尺寸精密測(cè)量的主要手段。系統(tǒng)由PC、控制主機(jī)、跟蹤站、目標(biāo)鏡等組成。激光跟蹤儀集合了精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、激光干涉測(cè)距技術(shù)、光電探測(cè)技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理論等各種先進(jìn)技術(shù)，對(duì)空間運(yùn)動(dòng)目標(biāo)進(jìn)行跟蹤并實(shí)時(shí)測(cè)量目標(biāo)的空間三維坐標(biāo)。它具有高精度、高效率、實(shí)時(shí)跟蹤測(cè)量、安裝快捷、操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn)，適合于大尺寸工件配裝測(cè)量。激光跟蹤測(cè)量系統(tǒng)的工...
3d輪廓掃描儀竟然有如此性能特點(diǎn)？
2022-12-20 3d輪廓掃描儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的測(cè)量?jī)x器，采用進(jìn)口高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)建立工件表面輪廓的二維坐標(biāo)，計(jì)算機(jī)通過(guò)修正算法對(duì)光柵數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，終還原出工件輪廓信息、粗糙度信息并以曲線圖顯示出來(lái)，通過(guò)軟件提供的分析工具可對(duì)輪廓、粗糙度進(jìn)行各種參數(shù)分析。3d輪廓掃描儀高精度、高穩(wěn)定性、高重復(fù)性，滿足被測(cè)件測(cè)量精度要求。選用高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)和高精度電感測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量精度高；自主研發(fā)高精度研磨導(dǎo)軌系統(tǒng)，導(dǎo)軌材料耐磨性好、保證系統(tǒng)穩(wěn)定可靠工作；高性能直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，保證測(cè)量穩(wěn)...
重在品質(zhì)，工于裝備！激光跟蹤儀應(yīng)用系列-工程機(jī)械部件檢測(cè)
2022-12-19 工程機(jī)械作為工程建設(shè)中的重要工具，施工過(guò)程中長(zhǎng)期承受各種外力，因此對(duì)各結(jié)構(gòu)件質(zhì)量要求很高，檢測(cè)十分嚴(yán)格，通常要求的公差在0.1mm～0.2mm以內(nèi)。工程機(jī)械部件外形尺寸及重量通常較大，常規(guī)儀器無(wú)法有效滿足檢測(cè)需求，GTS激光跟蹤儀作為大尺寸空間精密測(cè)量?jī)x器，空間測(cè)量精度以微米計(jì)，且測(cè)量范圍可達(dá)160m，能為工程機(jī)械制造提供精準(zhǔn)的測(cè)量保障。激光跟蹤儀采用球坐標(biāo)系測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量時(shí)，操作者手持測(cè)量靶球，激光跟蹤儀射出一道激光主動(dòng)跟蹤測(cè)量靶球，在操作者將靶球接觸待測(cè)工件表面時(shí)，激光跟...
白光3D輪廓測(cè)量?jī)x適配芯片制造生產(chǎn)線，助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展
2022-12-19 近年來(lái)，面對(duì)持續(xù)高漲的芯片需求，半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)迎來(lái)了高難度挑戰(zhàn)——對(duì)芯片工藝要求更精細(xì)，從5nm到3nm，甚至是2nm。“先進(jìn)封裝”的提出，是對(duì)技術(shù)的新要求，也是對(duì)封裝工藝中材料和設(shè)備的全新考驗(yàn)。芯片身上布控著幾千萬(wàn)根晶體管，而晶體管越小，可放置的晶體管越多，性能也將越高。芯片的進(jìn)化就是晶體管變小的過(guò)程。晶體管密度更大、占用空間更少、性能更高、功率更低，但挑戰(zhàn)也越來(lái)越難以克服。小尺寸下，芯片物理瓶頸越來(lái)越難以克服。尤其在近幾年，先進(jìn)節(jié)點(diǎn)走向10nm、7nm、5nm.........
數(shù)控機(jī)床檢測(cè)技術(shù)之激光干涉儀角度測(cè)量
2022-12-12 目前，在幾何量測(cè)量中最重要的激光技術(shù)是用廣電轉(zhuǎn)換條紋計(jì)數(shù)等方法來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度，這種方法具有精度高、速度快、量程大、始于非接觸測(cè)量及自動(dòng)測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。基于激光干涉儀技術(shù)的精密角度測(cè)量系統(tǒng)，通過(guò)角度轉(zhuǎn)換裝置將角度量轉(zhuǎn)換為可以反映干涉光路中光程差變化的線性位移量，由此引起干涉條紋的變化，再通過(guò)相應(yīng)電路對(duì)干涉條紋進(jìn)行一系列處理，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)大轉(zhuǎn)角的精密測(cè)量。具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、誤差恒定、測(cè)量精度高、測(cè)角范圍大、易于數(shù)字化等特點(diǎn)。激光干涉儀利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)，可以對(duì)數(shù)控設(shè)備（加工中心、三坐標(biāo)測(cè)量...

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